東レエンジニアリング、半導体検査装置メーカーであるＮＧＲを子会社化

ＮＧＲは2000年7月の設立以来、電子ビーム技術を用いた独自のコンセプトに基づいた半導体検査装置の開発に取り組んできた。近年、微細化・複雑化する最先端半導体デバイス製造において従来の手法では歩留まり管理が困難になり、新たな半導体検査装置が求められる中、ＮＧＲの検査技術は世界の最先端半導体メーカーに認められつつある。

同社は、ＮＧＲの技術・商品の将来性を評価し、2014年8月に出資を実施し、同社との戦略的連携関係を構築してきたが、今回の株式取得により、一体的な事業展開に取り組めることになる。同社でも、半導体製造工程での各種検査装置をラインアップしており、信頼性・操作性、コストパフォーマンスなどで、生産ラインで高い評価を得てきた。その事業経験により得られたノウハウと、ＮＧＲの最先端技術を融合し、半導体検査装置分野での事業展開を加速していく方針。